Tài liệu Nghiên cứu chế tạo và tính chất hấp thụ tuyệt đối sóng vi ba của vật liệu meta (metamaterials) [tt]

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ĐỖ THÀNH VIỆT NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ TÍNH CHẤT HẤP THỤ TUYỆT ĐỐI SÓNG VI BA CỦA VẬT LIỆU META (METAMATERIALS) Chuyên ngành: Vật liệu điện tử Mã số: 62440123 TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Hà Nội – 2015 Công trình được hoàn thành tại: Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Nguyễn Văn Hiếu PGS. TS. Vũ Đình Lãm Phản biện 1: PGS. TS. Phạm Văn Hội Phản biện 2: TS. Đỗ Trung Kiên Phản biện 3: PGS. TS. Đào Ngọc Chiến Luận án sẽ được bảo vệ trước Hội đồng chấm luận án tiến sĩ cấp Trường họp tại Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Vào hồi …….. giờ, ngày ….. tháng ….. năm ……… Có thể tìm hiểu luận án tại thư viện: 1. Thư viện Tạ Quang Bửu - Trường ĐHBK Hà Nội 2. Thư viện Quốc gia Việt Nam DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN Tạp chí trong nước [1] Tung, NT, Viet, DT, Tuong, PV, Lam, VD, Binh, NT and Hoai, PV (2010) Perspective of invisibility using metamaterials. Tạp Chí Nghiên Cứu KH & CN Quân Sự, 10, 65. [2] Đỗ Thành Việt, Nguyễn Thanh Tùng, Bùi Sơn Tùng, Lê Văn Quỳnh, Nguyễn Thị Hiền, Lê Thị Quỳnh et al. (2011) Thiết kế và chế tạo vật liệu hấp thụ hoàn hảo sóng viba trên cơ sở metamaterial. Kỉ Yếu Hội Nghị Toàn Quốc Lần Thứ 7 về Vật Lý Chất Rắn và Khoa Học Vật Liệu, TP Hồ Chí Minh. [3] Nguyen Thanh Tung, Do Thanh Viet, Le Thi Quynh, and Vu Dinh Lam (2012) Meta-magnetic cutwire-pair structures: A numerical study on the dielectric loss. Tạp Chí Nghiên Cứu Khoa Học và Công Nghệ Quân Sự, 18. [4] Lam V D, Hien N T, Tuan N T, Viet D T, Tung N T, Lee Y P (2012) A broadband and nearly polarization-insensitive metamaterial absorber using multi-ring structure. IWAMSN 2012, Halong, Vietnam. [5] Nguyen Thi Hien, Bui Son Tung, Bui Xuan Khuyen, Nguyen Van Dung, Do Thanh Viet, Lee Young Pak et al. (2013) Horizontally plasmon hybridization on symmetric-breaking metamaterials. Tạp Chí Khoa Học và Công Nghệ, 51, 371–7. [6] Do, TV, Nguyen Thi Hien, Nguyen Thanh Tung, Nguyen Van Hieu and Vu Dinh Lam (2013) Nghiên cứu vật liệu hấp thụ hoàn hảo sóng vi ba trên cơ sở Metamaterial. Tạp chí nghiên cứu KH & CN Quân sự, Đặc san Vật lí kỹ thuật. Tạp chí nước ngoài [7] Thuy, VTT, Viet, DT, Hieu, NV, Lee, YP, Lam, VD and Tung, NT (2010) Triple negative permeability band in plasmon-hybridized cut-wire-pair metamaterials. Optics Communications, 283, 4303–6. http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2010.06.050 [8] Vu, DL, Pham, VT, Do, TV, Nguyen, TT, Vu, TTT, Le, VH et al. (2010) The electromagnetic response of different metamaterial structures. Advances in Natural Sciences: Nanoscience and Nanotechnology, 1, 045016. http://dx.doi.org/10.1088/2043-6262/1/4/045016 [9] Viet, DT, Tung, NT, Hien, NT, Lee, YP, Tung, BS and Lam, VD (2012) Multi-plasmon resonances supporting the negative refractive index in “single-atom” metamaterials. Journal of Nonlinear Optical Physics & Materials, 21, 1250019. http://dx.doi.org/10.1142/S0218863512500191 [10] Tung, NT, Viet, DT, Tung, BS, Hieu, NV, Lievens, P and Lam, VD (2012) Broadband Negative Permeability by Hybridized Cut-Wire Pair Metamaterials. Applied Physics Express, 5, 112001. http://dx.doi.org/10.1063/1.4893719 [11] Do, TV, Bui, ST, Le, VQ, Nguyen, TH, Nguyen, TT, Nguyen, TT et al. (2012) Design, fabrication and characterization of a perfect absorber using simple cut-wire metamaterials. Advances in Natural Sciences: Nanoscience and Nanotechnology, 3, 045014. http://dx.doi.org/10.1088/20436262/3/4/045014 [12] Viet, DT, Hien, NT, Tuong, PV, Minh, NQ, Trang, PT, Le, LN et al. (2014) Perfect absorber metamaterials: Peak, multi-peak and broadband absorption. Optics Communications, 322, 209–13. http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2014.02.037 [13] Viet, D T, Hieu, N V, Lam, V D and Tung, N T (2015) Isotropic Metamaterial Absorber Using Cut-wire-pair Structures. Applied Physics Express. Accepted A. GIỚI THIỆU LUẬN ÁN 1. Tính cấp thiết của đề tài Để phát triển, hội nhập khoa học công nghệ với thế giới, trong điều kiện hiện tại, Việt Nam cần tìm cho mình những ngành nghiên cứu mũi nhọn. Trong mỗi ngành nghiên cứu cụ thể như Khoa học Vật liệu, cũng lại cần xác định các hướng nghiên cứu triển vọng, phù hợp với trình độ và điều kiện nghiên cứu trong nước, chiến lược này đóng vai trò then chốt nhằm giúp chúng ta có thể đạt hiệu quả tối đa trong nghiên cứu, phát triển khoa học công nghệ. Vật liệu Meta (Metamaterials) là một hướng nghiên cứu mới chỉ phát triển mạnh từ đầu thế kỷ 21. Tuy nhiên, với các kết quả kỳ thú và tiềm năng sớm được công bố như vật liệu chiết suất âm, tàng hình sóng điện từ, siêu thấu kính, hấp thụ tuyệt đối... vật liệu Meta đã và đang tiếp tục được tập trung nghiên cứu sâu rộng. Thêm vào đó, điều kiện nghiên cứu cần thiết của vật liệu Meta tùy thuộc vào vùng tần số hoạt động, chính vì vậy ở những nước có điều kiện nghiên cứu chưa phát triển vẫn có thể triển khai nghiên cứu loại vật liệu này, trong những vùng tần số hoạt động phù hợp. Nhánh nghiên cứu Vật hiệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng điện từ thu hút được nhiều sự quan tâm, đặc biệt là cho mục đích quân sự. Với khả năng hấp thụ gần như toàn bộ sóng điện từ tới ở một, vài tần số, vùng tần số định trước, vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng điện từ có triển vọng ứng dụng trong chế tạo cảm biến, biến đổi năng lượng, và đặc biệt trong quân sự là các ứng 1 dụng ngụy trang, Radar... Cho đến nay, nghiên cứu vật liệu Meta là hướng nghiên cứu hoàn toàn mới nhưng rất triển vọng và phù hợp với điều kiện nghiên cứu của Việt Nam. 2. Mục tiêu nghiên cứu, ý nghĩa khoa học và thực tiễn * Mục tiêu nghiên cứu của luận án là: i) Đưa ra đượcphương pháp nghiên cứu và công nghệ chế tạo vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng vi ba. ii) Nghiên cứu tối ưu hóa cấu trúc vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng viba. iii) Nghiên cứu nâng cao hiệu suất hấp thụ của vật liệu Meta ở vùng sóng viba bằng cách mở rộng dải tần hấp thụ. * Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của đề tài: Ý nghĩa khoa học của đề tài là đưa ra những cơ sở vật lý và cơ chế hoạt động của vật liệu Meta. Trình bày các phương pháp nghiên cứu và quy trình công nghệ chế tạo mẫu vật liệu Meta hoạt động ở vùng tần số GHz. Ý nghĩa thực tiễn của đề tài là đã minh chứng được tiềm năng ứng dụng to lớn của vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối trong nghiên cứu, ngụy trang sóng điện từ. Ngoài ra, các kết quả nghiên cứu này còn là cơ sở để thu hút thêm sự tham gia của các nhà khoa học cho việc nghiên cứu, ứng dụng vật liệu Meta phát triển cảm biến, chuyển đổi năng lượng, radar... phục vụ quốc phòng và dân sinh. 3. Những đóng góp mới của luận án (i) Trình bày kiến thức tổng quan về vật liệu Meta. Giới thiệu các phương pháp nghiên cứu vật liệu Meta nói chung và 2 vật liệu Meta hoạt động ở vùng tần số GHz nói riêng. (ii) Đưa ra được quy trình chế tạo vật liệu Meta hoạt động ở vùng tần số GHz trên cơ sở công nghệ quang khắc. Quy trình này có độ ổn định và cho ra các mẫu có chất lượng tốt. (iii) Đã chế tạo được các mẫu vật liệu Meta có cấu trúc khác nhau. Lần đầu tiên, vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng viba được chế tạo thành công ở Việt Nam. Kết quả đo đạc cho thấy đạt được hấp thụ gần như hoàn toàn tại tần số xác định. (iv) Đã đưa ra được các cấu trúc nhằm nâng cao hiệu suất hoạt động của vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng viba. Buồng hấp thụ có cấu trúc 3D lần đầu tiên được thiết kế, chế tạo tại Việt Nam trên cơ sở các mẫu vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng viba đã nghiên cứu. 4. Bố cục của luận án Luận án gồm 104 trang được chia thành các phần như sau: Mở đầu 3 trang; Chương 1. Tổng quan 23 trang; Chương 2. Phương pháp nghiên cứu và công nghệ chế tạo gồm 22 trang; Chương 3.Nghiên cứu chế tạo và tối ưu hóa cấu trúc MPA gồm 27 trang và 4.MPA hấp thụ dải rộng gồm 12 trang. Kết luận và kiến nghị 1 trang. Ngoài ra, luận án có 01 bảng; 69 hình vẽ và đồ thị; 90 tài liệu tham khảo và phần phụ lục. B. NỘI DUNG CHÍNH CỦA LUẬN ÁN MỞ ĐẦU Cấu trúc vật liệu Meta được xem là một loại vật chất nhân tạo, tính chất của nó phụ thuộc cấu trúc nhiều hơn thành phần cấu tạo. Cấu trúc vật liệu Meta có rất nhiều ứng dụng kỳ diệu 3 đã được các nhà khoa học nghiên cứu bằng lý thuyết và chứng minh bằng thực nghiệm như siêu thấu kính, áo khoác tàng hình, bộ lọc tần số antennas, cảm biến sinh học... Vật liệu hấp thụ tuyệt đối là một trong nhiều loại vật liệu nhân tạo được nghiên cứu chế tạo trên cơ sở cấu trúc vật liệu Meta, các nghiên cứu hấp thụ sóng điện từ thuộc dải vi ba có thuận lợi là điều kiện thực nghiệm đơn giản. Từ khi Landy đưa ra cấu trúc hấp thụ sóng vi ba đầu tiên năm 2008, nhiều cấu trúc hấp thụ khác đã được các nhóm nghiên cứu trên thế giới công bố. Tất cả các cấu trúc hấp thụ đều có hiệu suất hấp thụ cao và được giải thích về cơ chế hấp thụ. Tuy nhiên, các cấu trúc hấp thụ đã công bố thường rất phức tạp, có nhiều tham số hình học, vì thế rất khó tùy biến để đạt được một đặc tính hấp thụ mong muốn. Trong luận án này, chúng tôi lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo thành công vật liệu Meta ở Việt Nam. Kết quả mới của luận án là đưa ra các cấu trúc đơn giản, dễ chế tạo, đo đạc, ít tham số hình học, vì vậy, dễ tùy biến mà vẫn đảm bảo có được tính hấp thụ hoàn hảo sóng điện từ thuộc dải sóng vi ba. CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN 1.1. Giới thiệu chung về vật liệu Meta Vật liệu Meta là một loại vật chất nhân tạo, mà tính chất của nó phụ thuộc cấu trúc nhiều hơn là thành phần cấu tạo. Tên tiếng Anh metamaterial thường được sử dụng cho một vật liệu có tính chất khác thường. Thuật ngữ đã được đặt ra vào năm 1999 do Rodger M. Walser của Trường Đại học Texas tại Austin. Ông đã xác định vật liệu Meta như vật liệu kết hợp 4 nhân tạo, 1, 2 hoặc ba chiều, cấu trúc tuần hoàn được thiết kế để tạo ra những đặc tính vật lý không có sẵn trong tự nhiên. Vật liệu Meta được chế tạo bằng cách sắp xếp những cấu trúc vi mô, được gọi là các "nguyên tử", để có thể tạo ra các tính chất vật lý vĩ mô (chủ yếu là tính chất điện từ) theo ý muốn. Những tính chất này có thể đã tồn tại nhưng khó khai thác và điều khiển, và thậm chí không tồn tại trong những vật liệu tự nhiên mà con người từng biết. Sự sắp xếp các cấu trúc vi mô có thể theo 1 trật tự hoặc hỗn loạn. Các cấu trúc "nguyên tử" này có thể là đối xứng hoặc bất đối xứng, đẳng hướng hoặc bất đẳng hướng, được làm từ kim loại hoặc điện môi, có thể là chất phi từ hoặc sắt từ, và có kích thước nhỏ hơn so với bước sóng hoạt động. Chúng ta đều biết tính chất điện từ của mỗi một loại vật liệu được đặc trưng bởi hai đại lượng vật lý: độ từ thẩm và hằng số điện môi. Sự lan truyền của sóng điện từ trong vật liệu liên quan chặt chẽ tới hai đại lượng này. Nguyên lý cơ bản của vật liệu Meta là tạo ra các mạch cộng hưởng điện từ, từ những cấu trúc "nguyên tử", có khả năng điều khiển riêng biệt hai đại lượng này, điều mà không thể làm được với các vật liệu tự nhiên. Sự truyền sóng điện từ trong vật liệu Meta, do đó cũng có thể dự đoán, thiết kế trước và điều chỉnh theo ý muốn. Hiện nay nghiên cứu về vật liệu đã mở rộng ra nhiều dải tần của sóng điện từ và sóng âm. 1.2. Ứng dụng của Vật liệu Meta Việc ra đời của vật liệu Meta hứa hẹn sẽ mang lại hàng loạt ứng dụng mới và quan trọng trong cuộc sống. Sự linh hoạt của vật liệu này làm nó trở nên quan trọng trong lĩnh vực thông tin, 5 cảm biến, các thiết bị quang học. Sự thú vị thực sự của vật liệu Meta nằm ở khả năng điều khiển sóng điện từ hay tính chất quang của vật liệu phục vụ cho hàng loạt các ứng dụng thực tế. Một trong những ứng dụng nổi bật nhất của vật liệu này là siêu thấu kính được đề xuất bởi Pendry được trình bày trong Hình 1. Sau đó, năm 2005 siêu thấu kính quang học đã được Zhang và các cộng sự chế tạo thành công. Hình 1. Nguyên lý hoạt động của siêu thấu kính dựa trên vật liệu Meta. Một ứng dụng khác là lớp vỏ “tàng hình”. Khi chúng ta nhìn mặt đường mùa hè vào ngày nắng gắt, từ một khoảng cách thích hợp ta thấy trước mắt xuất hiện một “vũng nước” lung linh ảo ảnh của bầu trời và cây cối bên đường. Hiện tượng này được gây ra do sự thay đổi dần dần của chiết suất từ trị số lớn trong vùng không khí mát hơn phía trên đến trị số nhỏ hơn trong vùng không khí nóng tiếp giáp với mặt đường. Sự thay đổi chiết suất sẽ làm uốn cong đường đi của ánh sáng. Các nhà khoa học cũng đã nghiên cứu và chế tạo vật liệu Meta có sự thay đổi chiết suất làm uốn cong đường đi của sóng điện từ 6 xung quanh một vật thể. Vì không có sự phản xạ sóng từ vật nên đối với người quan sát vật này là “tàng hình”. Như vậy, vật liệu Meta không những có thể có chiết suất âm mà còn là một tập hợp của những mảnh khảm (mosaic) quang học mang từng trị số chiết suất khác nhau làm uốn cong đường đi của sóng điện từ. Vật liệu tàng hình dựa trên vật liệu Meta do nhóm Smith và Pendry phát hiện và kiểm chứng. Với ứng dụng này, chúng ta có quyền nghĩ về một loại vật liệu mới, mà nếu chúng ta được "bao phủ" bởi nó, thì không ai có thể nhìn thấy chúng ta cho dù chúng ta đang đứng ngay trước mặt họ. Điều này tạo nên đột phá lớn, đặc biệt là trong quân sự. Các thí nghiệm của nhóm Smith (Đại học Duke) đã đạt tới bước sóng tiến gần đến vùng nhìn thấy, các thí nghiệm với sóng ánh sáng trong vùng nhìn thấy đang được tập trung nghiên cứu. Ngoài những ứng dụng kì diệu rõ ràng kể trên, vật liệu Meta còn tỏ ra rất tiềm năng trong các lĩnh vực khác như bộ lọc tần số, cộng hưởng, cảm biến sinh học, đặc biệt là tính siêu hấp thụ của loại vật liệu này. 1.3. Vật liệu Meta hấp thụ sóng điện từ Vật liệu Meta hấp thụ hoàn hảo sóng điện từ (metamaterial perfect absorber - MPA) là vật liệu có khả năng hấp thụ hoàn toàn năng lượng của sóng điện từ chiếu tới tại tần số hoạt động. Do MPA được tạo bởi các cấu trúc cộng hưởng điện từ nên nguyên lí hoạt động của MPA là hấp thụ cộng hưởng. Tại tần số cộng hưởng, các đại lượng truyền qua, phản xạ, tán xạ đều bị triệt tiêu. 7 MPA thường được cấu tạo gồm 3 lớp: hai lớp kim loại thường được tạo bởi các kim loại dẫn điện tốt như vàng, bạc, đồng và xen kẽ là lớp điện môi. Tại tần số xác định, MPA hấp thụ sóng điện từ tốt hơn nhiều so với các vật liệu được nghiên cứu trước đây (màn Salisbury, lớp Dällenbach ...). Ngoài ra, một trong những tính chất hết sức thú vị của MPAs là có khả năng điều chỉnh được vùng tần số hoạt động mong muốn thông qua thay đổi kích thước và lợi thế độ dày nhỏ như đã được chứng minh là  0 /40,  0 /69. Năm 2008, MPA đầu tiên đã được đề xuất bởi Landy. Loại vật liệu này gồm ba lớp, hai lớp kim loại và một lớp điện môi được mô tả trên Hình 2. Vật liệu có độ hấp thụ là A  99% tại tần số 11.65 GHz. Hình 2. MPA đầu tiên được tìm ra bởi Landy năm 2008. a) Cấu trúc ô cơ sở và phân cực; b) Kết quả mô phỏng. Sau khi phát hiện ra khả năng hấp thụ tuyệt đối của vật liệu Meta. Vật liệu này càng được quan tâm một cách đặc biệt hơn. Bằng chứng là các nhà nghiên cứu đã tìm kiếm các cấu trúc vật liệu Meta hoạt động ở các vùng khác nhau của phổ sóng điện 8 từ như: vùng vi sóng, THz, hồng ngoại, thậm chí vùng ánh sáng nhìn thấy. Các hướng nghiên cứu hiện nay về vật liệu metamaterial hấp thụ tuyệt đối sóng điện từ Để thuận tiện cho việc nghiên cứu, người ta chia ra các vùng sóng điện từ như sau: vi sóng (1 GHz–30 GHz: 30 cm–10 mm), vùng sóng milimet (30 GHz–300 GHz: 10 mm–1 mm), vùng THz (300 GHz–10 THz: 1mm–30 m), vùng hồng ngoại giữa (10 THz–100 THz: 30 m–3m), vùng hồng ngoại gần (100 THz–400 THz: 3 m–0.75 m) và vùng khả kiến (400 THz– 800 THz: 750nm–375 nm). Trong cộng đồng nghiên cứu về vật liệu Meta nói chung, hiện các nhà nghiên cứu đang gặp phải một số khó khăn như: tạo ra cấu trúc ba chiều và tổn hao lớn có sẵn trong các loại vật liệu. Tuy nhiên, đối với MPA thì đây lại là lợi thế, độ tổn hao lớn có thể tạo ra vật liệu hấp thụ cao. Hiện nay, các nhà khoa học đang tập trung vào một số hướng nghiên cứu như sau: - Tìm kiếm MPA có cấu trúc đơn giản. - MPA không phụ thuộc phân cực sóng điện từ. - MPA có hấp thụ dải rộng. - MPA tuỳ biến: vật liệu Meta nói chung và MPAs nói riêng, tính chất phụ thuộc rất mạnh vào các thông số cấu trúc. Ngoài ra, các tính chất của chúng còn phụ thuộc vào hằng số điện môi và các đặc tính vật lý của lớp điện môi. Như vậy, trong trường hợp tác động ngoại vi như nhiệt, điện, quang ... có thể làm cho đặc tính vật lý của lớp điện môi thay đổi, sẽ dẫn đến các tính chất của vật liệu Meta thay đổi theo. 9 - Nghiên cứu chế tạo vật liệu MPA hoạt động ở vùng tần số cao như: THz, hồng ngoại, vùng ánh sáng khả kiến... CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU VÀ CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO 2.1. Mô hình mạch điện tương đương Vật liệu Meta được tạo thành bằng cách tổ hợp có trật tự những cấu trúc cơ bản nhỏ hơn nhiều lần bước sóng hoạt động. Những cấu trúc này chính là những mạch cộng hưởng điện từ sub-wavelength, có tác dụng tương tác với sóng tới, và thay đổi tính chất của sóng truyền qua tại tần số cộng hưởng. Chính vì vậy, đặc tính điện từ của vật liệu Meta có thể được mô hình hóa thông qua mô hình mạch LC tương đương của các cấu trúc cơ bản này. Tần số cộng hưởng và các tính chất dị thường của vật liệu Meta cũng có thể được tiên đoán chính xác dựa trên mô hình mạch tương đương LC. Giá trị của L và C có thể được tính toán chính xác thông qua các thông số hình học và tính chất của vòng dây SRR, từ đó tần số cộng hưởng có thể được tiên đoán trước. 2.2. Mô phỏng vật lý Các đặc tính điện từ như phổ truyền qua, phổ phản xạ, tổn hao điện từ, phân bố năng lượng điện từ, và phân bố dòng điện cảm ứng của các cấu trúc vật liệu Meta được mô phỏng bằng các phần mềm máy tính. Các phần mềm chuyên dùng để mô phỏng vật liệu Meta điện từ chủ yếu hiện nay được chia làm hai loại, phần mềm thương mại và các phần mềm tự xây dựng. Các phần mềm thương mại như CST Microwave Studio, HFSS 10 và Comsol có ưu điểm chính xác, nhiều tính năng, giao diện dễ sử dụng tuy nhiên giá thành rất đắt, khả năng tùy biến kém, và tốn nhiều bộ nhớ. Trong một số trường hợp nhất định, các phương pháp mô phỏng tự xây dựng dựa trên các phần mềm mã nguồn mở như phương pháp ma trận truyền (Transfer Matrix Method - TMM) và phương pháp đạo hàm hữu hạn trong miền thời gian (Finite Difference Time Domain - FDTD) cho tốc độ tính toánh nhanh, khả năng tùy biến tốt, cho phép can thiệp sâu vào cấu trúc và tính chất vật liệu, cũng như thêm vào các tương tác ngoại vi... Kết quả mô phỏng các tính chất điện từ của vật liệu Meta đã được kiểm chứng bằng thực nghiệm và nhiều phương pháp khác, cho độ tin cậy cao. 2.3. Kiểm chứng bằng thực nghiệm Một trong những phương pháp nghiên cứu quan trọng để kiểm chứng tính chất của vật liệu Meta điện từ là chế tạo mẫu và thực hiện phép đo xác định các đặc tính điện từ. Các phép đo này chủ yếu là phép đo phổ truyền qua và phổ phản xạ ở các vùng tần số khác nhau. Ở vùng sóng microwave, vật liệu Meta được chúng tôi chế tạo bằng phương pháp quang khắc truyền thống với ưu điểm là đơn giản, độ chính xác cao và giá thành rẻ. Vật liệu ban đầu là bảng mạch in thương phẩm có hằng số điện môi  = 4 và độ dày lớp điện môi là t = 0.4 mm, đã được phủ đồng (Cu) hai mặt có độ dày khoảng 0.036 mm. Bảng mạch in sẽ được phủ lớp cảm quang và phơi sáng sau khi được che bởi mặt nạ được in từ trước. Mặt nạ được thiết kế dựa trên kết quả mô phỏng và mô hình hóa bằng mạch LC tương đương. Hình 3 trình bày cấu trúc ô cơ sở cùng các tham số cấu trúc của vật liệu Meta có tính chất khác nhau: a) vật liệu Meta có độ từ 11 thẩm âm, b) vật liệu Meta có chiết suất âm, c) vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối. Hình 4 là ảnh chụp mặt trước của mẫu vật liệu Meta: (a) cấu trúc CWP có độ từ thẩm âm và (b) cấu trúc vật liệu Meta kết hợp có chiết suất âm. Hình 3. Cấu trúc ô cơ sở của một số vật liệu Meta: (a) vật liệu Meta có độ từ thẩm âm CWP, b) vật liệu Meta có chiết suất âm, (c) vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối. Hình 4. Vật liệu Meta CWP có độ từ thẩm âm (a) và vật liệu Meta kết hợp có chiết suất âm (b). Để đo các tính chất của vật liệu như phổ truyền qua, phổ 12 phản xạ hay hấp thụ chúng tôi sử dụng hệ phân tích mạng véc tơ gồm hai ăng ten chuẩn, một ăng ten có vai trò phát, ăng ten còn lại có vai trò thu tín hiệu. Hệ thiết bị đo được đặt trong buồng hấp thụ sóng điện từ để giảm tác động nhiễu từ bên ngoài. Vùng tần số hoạt động của vật liệu đã được tính toán dựa trên thiết kế mô phỏng và mô hình mạch điện LC trước đó. Hình 5. Hệ thiết bị phân tích mạng véc tơ. Hình 5 mô tả hệ và bố trí phép đo phổ truyền qua của một mẫu vật liệu Meta. Hai ăng ten thu phát được đặt lần lượt ở bên trái và phải. Tín hiệu nền được chuẩn hóa cùng với giá đỡ mẫu trước mỗi phép đo để loại bỏ ảnh hưởng của giá đỡ và nhiễu nền lên kết quả đo. Mẫu đo được đặt trên giá để mẫu, giữa hai ăng ten để khảo sát trong dải tần số cần quan sát. Kết quả thu được từ các phép đo là các phổ truyền qua, phản xạ và pha tương ứng. 2.4. Phương pháp lý thuyết môi trường hiệu dụng Lý thuyết môi trường hiệu dụng là nguyên lý đầu tiên và cơ bản xuyên suốt quá trình nghiên cứu vật liệu Meta điện từ. Bản chất của vật liệu Meta là tổ hợp những “nguyên tử” có tính chất 13 điện từ nhân tạo để tạo ra các tính chất hiệu dụng của vật liệu. Vì thế các “nguyên tử” này thường là các mạch cộng hưởng điện từ và phải đủ nhỏ để được xem là liên tục tại tần số mà tính chất hiệu dụng của nó hoạt động. Việc thay đổi tính chất vật lý của các mạch điện từ này sẽ dẫn đến những biến đổi vĩ mô của vật liệu Meta, điều này giúp cho việc kiểm tra và so sánh tính chất của vật liệu Meta với vật liệu thường có thể được thực hiện một cách dễ dàng. 2.5. Phương pháp truy hồi tham số điện từ Trong khi phương pháp lý thuyết trường hiệu dụng được sử dụng để nghiên cứu một cách định tính, xây dựng một phương pháp nghiên cứu định lượng các tính chất điện từ của vật liệu Meta là rất cần thiết. Tuy nhiên, việc đo trực tiếp các đặc tính điện từ như độ từ thẩm µ, độ điện thẩm , chiết suất n, và trở kháng Z theo tần số của vật liệu Meta lại rất khó thực hiện một cách chính xác. Chính vì vậy kỹ thuật tính toán các giá trị này dựa trên biên độ và pha của sóng truyền qua và phản xạ trở nên rất hữu ích trong nghiên cứu định lượng các tính chất của vật liệu Meta. Một trong những phương pháp được sử dụng rộng rãi để tính các tham số điện từ từ phổ truyền qua và phản xạ là phương pháp chuẩn đề xuất bởi Chen và các cộng sự, cho phép xác định được chính xác phần thực của chiết suất n từ công thức exp(inkod) = X ± i(1 – X2)1/2 (1) trong đó, X = 1/2S21(1 – S112 + S212), ko là số sóng, d là độ dày của lớp vật liệu Meta, và n là chiết suất. Khi các giá trị độ từ thẩm, độ điện thẩm, chiết suất và trở kháng hiệu dụng của vật liệu Meta được thể hiện, chúng ta có thể xác định rõ dấu, và 14 độ lớn cũng như bản chất của vùng truyền sóng là chiêt suất âm hay không. Có thể nói đây là một trong những phương pháp nghiên cứu ưu việt và là công cụ mạnh để nghiên cứu vật liệu Meta. Trong các kết quả nghiên cứu sắp trình bày dưới đây của chúng tôi, phương pháp tính các tham số điện từ này được sử dụng bổ trợ và tỏ ra rất hữu ích trong việc tìm hiểu bản chất của vật liệu Meta. 2.6.Công nghệ chế tạo Vật liệu ban đầu gồm có một lớp điện môi có hằng số điện môi  = 4 và độ dày lớp điện môi là t = 0.4 mm, đã được phủ đồng (Cu) hai mặt có độ dày khoảng 0.036 mm. Qui trình chế tạo vật liệu được trình bày trên hình 6. Hình6. Quy trình chế tạo vật liệu Meta. 15 CHƯƠNG 3: NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ TỐI ƯU HÓA CẤU TRÚC MPA HOẠT ĐỘNG Ở VÙNG TẦN SỐ GHZ 3.1. MPA cấu trúc chữ I Cấu trúc hấp thụ MPA được đề xuất bởi Landy (Hình 2) tương đối phức tạp và đòi hỏi độ chính xác cao trong chế tạo. Tìm kiếm một cấu trúc MPA đơn giản nhưng có hiệu suất hấp thụ không đổi là một bài toán được nhiều nhóm nghiên cứu quan tâm. Dựa trên bản chất vật lý của cấu trúc Landy, chúng tôi đã tiến hành nghiên cứu chế tạo và tối ưu hóa cấu trúc hấp MPA, hướng tới một cấu trúc có tính ưu việt trong chế tạo và đo đạc. Mẫu hấp thụ MPA hình chữ I là sự rút gọn của cấu trúc Landy dựa trên cơ sở mạch cộng hưởng LC (Hình 7). Đây là một trong những kết quả nghiên cứu, chế tạo vật liệu MPA đầu tiên ở Việt Nam. Kết quả thực nghiệm phù hợp với kết quả mô phỏng, tồn tại mộtđỉnh hấp thụ ~100% ở tần số 14,2 GHz (Hình 8). Hình 7. MPA cấu trúc hình Hình 8. Kết quả mô phỏng và chữ I: a) Ô cơ sở và các tham thực nghiệm phổ hấp thụ của MPA cấu trúc chữ I. số cấu trúc; b) mẫu chế tạo. 16