Tài liệu Analogicdesign chapter2 cmos technology

THIẾT KẾ VI MẠCH TƯƠNG TỰ CHƯƠNG 2: CMOS Technology Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử Trang bộ [email protected] 1 TP.Hồ Chí Minh 12/2011 1. Overview - IC technology - CMOS vs BJT Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 2 What is Integrated Circuit Technology? Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 3 How Does IC Technology Influence Analog IC Design? Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 4 Classification of Silicon Technology Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 5 Why CMOS Technology? Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 6 Components of a Modern CMOS Technology Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 7 CMOS Components – Transistors Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 8 2.BASIC IC PROCESS TECHNOLOGY FUNDAMENTAL IC PROCESSING STEPS 100‐200‐300‐ 450mm Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 9 Oxidation Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 10 Diffusion Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 11 Ion implantation Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 12 Deposition Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 13 Etching Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 14 Shallow Trench Isolation Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 15 Epitaxial Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 16 Photolithography Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 17 Illustration of Photolithography ‐ Exposure Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 18 Illustration of Photolithography – Positive Photoresist Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 19 3. TYPICAL DEEP SUBMICRON (DSM) CMOS  FABRICATION PROCESS Major Fabrication Steps for a DSM CMOS Process 1.) 1 ) p and n wells 2.) Shallow trench isolation 3.) Threshold shift 4.) Thin oxide and gate polysilicon 5.) Lightly doped drains and sources 6.) Sidewall spacer ) p 7.) Heavily doped drains and sources 8.) Siliciding (Salicide and Polycide) 9.) 9 ) Bottom metal tungsten plugs and oxide metal, plugs, 10.) Higher level metals, tungsten plugs/vias, and oxide 11.) Top level metal, vias and protective oxide Hoàng Trang-bộ môn Kỹ Thuật Điện Tử, 12/2011 20