Mô tả:
Nhan đề : Nghiên cứu chế tạo nano tinh thể SiGe pha tạp Er bằng phương pháp phún xạ catốt Tác giả : Trần Thị Thùy Dương Người hướng dẫn: Ngô Ngọc Hà Từ khoá : Vật liệu nano; Phương pháp phún xạ catốt Năm xuất bản : 2019 Nhà xuất bản : Trường đại học Bách Khoa Hà Nội Tóm tắt : Tổng quan vật liệu silic, gecmani, hợp kim SiGe, nhóm nguyên tố đất hiếm và nguyên tố erbi; thực nghiệm chế tạo mẫu; kết quả và thảo luận.